瑞士萬通芯中有我｜電子級鹽酸
鹽酸
在前面幾篇微信文章中，跟大家一起分享了離子色譜在電子級硝酸、氫氟酸、磷酸和硫酸雜質(zhì)檢測中的應(yīng)用。今天我們就再一起看看半導(dǎo)體常用強酸中的最后一員——鹽酸。
在集成電路制作過程中，基片表面的金屬雜質(zhì)可能會擴散進入基片，導(dǎo)致器件的性能下降和成品率的降低。因此在沉積金屬前，確�；砻鏇]有金屬雜質(zhì)是極為重要的。因為鹽酸能和大多數(shù)金屬反應(yīng)形成水溶性的鹽，然后被水清洗去除，所以使用高純鹽酸進行清洗可有效降低金屬雜質(zhì)。除此之外，在太陽能電池生產(chǎn)過程中，單晶硅和多晶硅也都會采用鹽酸和氫氟酸的混合液進行清洗。
若直接進樣分析鹽酸中的陰離子含量，鹽酸中所含的大量氯離子將嚴重超過陰離子分離柱的飽和柱容量，直接損壞分離柱。因此針對該基體的分析，一般采用稀釋或基體中和的前處理方法，下面我們一起看幾個實際案例。
溴離子的測定
方法一：電導(dǎo)法
先向100mL容量瓶加入50mL左右超純水，然后準確稱取一定量的濃鹽酸于100mL的容量瓶，再加入一定量的超純氫氧化鈉溶液進樣酸堿中和，最后用超純水定容至刻度，過濾后直接進樣。
色譜柱：Metrosep A Supp 7-250
淋洗液：3.6mM Na2CO3溶液
流速：0.7mL/min
進樣體積：20μL
柱溫：45℃
檢測器：電導(dǎo)檢測器
方法二：安培法
濃鹽酸稀釋1000倍后過濾進樣。
色譜柱：Metrosep Anion Dual 2
淋洗液：3.7mmol/L NaHCO3+ 1.7mmol/L Na2CO3+9%丙酮
流速：0.8mL/min
進樣體積：20μL
檢測器：安培檢測器（銀電極）
氟離子和硫酸根含量的測定
將濃鹽酸稀釋20倍后過濾進樣，使用英藍基體中和技術(shù)對樣品進行全自動預(yù)處理。
色譜柱：Metrosep A Supp 5-250
淋洗液：1.0mmol/L NaHCO3+ 3.2mmol/L Na2CO3
流速：0.7mL/min
進樣體積：10μL
檢測器：電導(dǎo)檢測器
碘離子含量的測定
濃鹽酸稀釋1000倍后過濾進樣。
色譜柱：Metrosep Anion Dual 2
淋洗液：3.6mmol/L NaHCO3+2.7mmol/L Na2CO3+15%丙酮
流速：0.8mL/min
進樣體積：50μL
檢測器：安培檢測器（銀電極）
(責任編輯：金利儀器lyh)
