用芯制造，安全有譜

 

應用于半導體等高科技制造領域   

 

搭載多種原理的智能傳感器組件 

 

可檢測40多種低濃度有毒有害氣體

 

 

2016年起，國內開始積極投資建設晶圓廠，陸續掀起建廠熱潮。2020年~2022年是國內晶圓廠投產高峰期，未來3年將迎來密集投產。

 

其中電子特氣作為半導體行業生產制造過程中不可或缺的關鍵性化工材料，從芯片生長到器件封裝，幾乎每一個環節都離不開電子特氣。常見的有SiH4、PH3、AsH3等，核心工段常見的有40余種，總計100多種。電子特氣雖是半導體行業的“血液”，但它的危害也非常多，包括毒性、自燃性等。一方面，這些特殊氣體對人體有害，另一方面，易燃易爆氣體的泄漏易引發火災爆炸事故。

 

為防止電子特氣在正常狀況下的微量泄漏或在特殊緊急狀況下的大量泄漏，造成難以彌補的生命財產損失，在使用、存儲時，必須采取適當的安全對策，對這些危險性氣體加以監控，以期將災害程度降至最低。

 

 

在現今半導體工業中，特氣檢測儀已成為必備的環境監控儀器，但是目前國內大部分的晶圓廠使用的都是進口產品。譜育科技致力于實現科學儀器“中國夢”，解決“卡脖子”問題，自主研發推出了GDM-2100  Series特氣檢測儀。

 

 

GDM-2100 Series是一款專門針對半導體行業用戶設計的特氣檢測儀，其具有高可靠性和高靈敏度的特點，采用先進的smart sensor傳感技術，支持多種數據傳輸模式。

 

 

※ 兼容性設計

 

檢測儀主體采用通用化設計，可兼容EC、NDIR、Catalytic等多種檢測原理的智能傳感器模組，讓特氣檢測儀主機實現了通用化，節約了購機成本。

 

※ 智能傳感器技術

 

智能傳感器模組自帶核心處理器，支持離線校準，校準后不需要任何設置即插即用，提高了日常維保效率。

 

※ 供電通訊方式多樣化

 

① 支持24V直流供電，輸出通用的模擬儀表信號（4-20mA信號），構建通用型的氣體報警監控系統Gas detector System。

 

② 支持POE HUB供電，使用LAN網線給檢測儀提供電源，大幅削減施工成本。輸出modbus/TCP數字信號，可通過 web瀏覽器獲取檢測儀的運行情況。

 

※ 顯示屏清晰易見

 

彩色TFT液晶顯示模塊， 高亮LED和直觀圖標顯示，顯示屏自定義區域可自由設置儀器位號或IP地址等信息，無須粘貼紙質標識，既美觀又節約成本 。